一种等离子喷涂技术制备氧化铒阻氚渗透涂层的方法,首先将Er2O3粉末在100℃下保温1小时以上烘干;然后采用常规清理工序对基体材料进行清洗和喷砂处理;最后采用等离子喷涂技术制备Er2O3涂层,喷涂工艺参数为:喷涂主气为氩气,喷涂辅气为氦气或氢气,氩气流量:1.5‑2.5m3/h,氦气流量0.8‑1.5 m3/h,氢气流量0.3‑0.8 m3/h,电流700‑900A,送粉量:40‑80g/min,喷涂距离60‑150mm。喷涂过程中控制基体温度不超过150℃,控制涂层单次厚度不超过40μm,经多次喷涂制备所需厚度涂层。本发明提供的Er2O3阻氚渗透涂层制备方法,具有低成本,工件形状尺寸不受限制,对基体材料力学性能无不良影响,涂层致密,厚度可控,沉积速率快,与基体的结合力高等优点。
专利权人:江西省科学院应用物理研究所
发明人:张林伟;罗凤凤;余玖明;曾卫军;王日昕;付青峰;周喆;陆磊
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